1.目的
规范Tegramin-25自动磨片机操作方法，明确Tegramin-25自动磨片机测试的要求和注意事项。
2.范围
适用于公司产品在Tegramin-25自动磨片机环境条件下的可靠性试验。
3.职责
实验室：相关操作人员严格按照此规范进行作业。
4.定义
无
5.作业内容
5.1仪器技术参数介绍
型号：Tegramin-25
转盘直径：250mm
转盘转速：40-600rpm
旋转方向：逆时针
转盘电机：750W/1.0HP
推进器速度：50-150rpm
推进器旋转方向：顺时针/逆时针
推进器机电：120W
环境条件：+5~+40℃/0-95%RH
5.2 操作步骤
5.2.1了解仪器各部位组件及其功能操作前先熟悉设备各部位结构组成
5.2.2控制面板说明，F1-F4 功能键
启动转盘旋转；手动加水；
研磨加液； 手动加润滑剂；
夹具左移； 夹具右移；
夹具上下移；旋转夹具180°；
退出； 启动程序；
停止程序； 旋/推按钮，选择；
旋转，加水，加液按钮按一下启动，再按一下停止；
5.2.3设备背面开关机，操作便捷。
5.2.4开机后，屏幕进入主菜单，一般选单个试验方法，根据实际情况而定。
5.2.5通过旋/推按钮，选择所需程式，按一下确定，根据不同测试产品预先设定测试组即可，功能非常强大。
5.2.6测试步骤，按粗磨->细磨->粗抛->精抛->化学精抛 五个步骤；
5.2.7粗磨设定：
砂纸一般用220-500目，研磨液用水，作用力20-30N，研磨时间1min，转速设150rpm，同向，根据实际情况设定作用力；
5.2.8细磨设定（9μm）：
砂纸选用MD-Largo，研磨液选对应Lar.9,作用力20-30N，研磨时间3:30min，转速设150rpm，同向；
5.2.9粗抛设定（3μm）：
抛光盘选用MD-Dac，研磨液选对应Dac3,作用力20-30N，研磨时间3:30min，转速设150rpm，同向，MD-Dac一般对应较硬材质；MD-Mol 一般对应较软材质；
5.2.10精抛设定（1μm）：
抛光盘选用MD-Nap，研磨液选对应Nap-R1,作用力20-30N，研磨时间2:30min，转速设150rpm，同向；
5.2.11化学液精抛设定（0.3μm）：
抛光盘选用MD-Chem，研磨液选对应OP-U,作用力15N，研磨时间1:00min，转速设150rpm，同向；
5.2.12加料瓶配制
5.2.13按对应的编号，插入对应的抛光液；
5.2.14把待测物放入固定盘中，按启动按钮即可作业
5.2.15切完之后观察（微蚀介绍）
1.镍材质 盐酸（浓度99%）+ 酒精（无水乙醇）按4:6（滴数）配比；
2.铜材质 磷酸（浓度99%）+酒精（无水乙醇）按4:6（滴数）配比；
3.锡材质 硫酸（浓度85%）+酒精（无水乙醇）按4:6（滴数）配比；
配好后观察，用棉签沾点腐蚀液轻轻带过待观察测量区域3-5s，用大量水冲洗干净至少10s钟以上，再用显微镜选用使用倍数观察测量，一般测量分析1-3μm级尺寸用到。
6.相关文件
无
7.相关表单
无
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